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半导体代工厂Yee Wei选择ClassOne的冬至电镀系统

2019-11-29 10:49:25 来源:

半导体设备制造商ClassOne科技(classone.com)宣布出售其冬至®电镀系统麒威有限公司,总部设在半导体制造代工厂台湾。Solstice将安装在位于台湾头份市Yee Wei的制造工厂中。

“我们选择Solstice的原因是它的价格性能以及它可以为我们的200mm晶片工艺提供的功能范围,” Yee Wei总裁 Chih-Kuang(CK)Yang说。“新系统具有ClassOne的CopperMax™腔室,该腔室是为镀铜而优化的,这对于我们的高级R&D工艺至关重要。该工具还提供了专为金工艺设计的GoldPro™腔室以及Vacuum PreWet腔室。作为一个开放的研发工厂,Solstice的广泛灵活性对我们来说非常宝贵。”

“冬至正迅速成为记录了世界各地的晶圆厂先进的电镀生产和R&d应用的事实标准和流程,” ClassOne CEO,说拜伦Exarcos 。“由于Solstice的性能,低廉的拥有成本和Plate-Plus ™功能,我们继续获得市场份额并在竞争中脱颖而出。”

Solstice湿处理工具系列包括8腔Solstice S8、4腔Solstice S4和2腔Solstice LT。Solstice平台是专门为≤200mm晶圆设计的,这些晶圆用于化合物半导体,新兴技术以及全球众多其他工厂。高性能CopperMax和GoldPro Solstice系统配置已成为铜和金电镀以及降低拥有成本的行业领导者。

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